iPhone XS里的A12芯片，是用这家中国企业的刻蚀设备造出来的

在《华为“备胎”，一夜转正》一文中，小鱼有提到，目前我国芯片产业链中，芯片制造和设备制造，是最大的短板。

尤其是设备制造。据国际半导体产业协会（SEMI）数据显示，预计到2020年，大陆地区的设备销售额将达到 170 亿美元，但国产 IC 设备自给率不到 5%。

国产 IC 设备不给力，影响的是整个大陆芯片产业。

拿光刻机来说，现在全世界只有荷兰的 ASML 能制造顶级光刻机，而它最先进的 7 纳米 EUV光刻机，优先供应其大股东台积电、三星、英特尔。

中芯国际就只能眼巴巴的看着，用过时的 14 纳米光刻机，落后人家两代半。

不过，国产设备厂商还是有争气的。在芯片制造中重要性仅次于光刻机的刻蚀机领域，中国有一家企业，技术不仅不落后，还处于世界先进水平，它就是我们之前提过的中微半导体。

目前，中微半导体已掌握 5 纳米刻蚀技术，为目前最高技术水平。而它也是台积电 7 纳米产线刻蚀设备供应商中，唯一一家大陆企业，不少人手机里的麒麟 980 或 A12 处理器，制造时就用到了中微的刻蚀设备。

2017年初，在美国总统科学技术咨询委员会，向总统提交的报告《确保美国半导体的长期领导地位》中，中微是唯一被提及的中国企业。

此前，因为中微在该领域的突破，美国商业部于2015年，将该技术从「国家安全出口管制」名单中剔除，并通报「瓦森纳协议」。

中微的Primo SSC AD-RIE刻蚀机

这是中国首次打破西方国家、在芯片高端装备领域的垄断和封锁，中微半导体的实力，可见一斑。

 

要了解中微这家公司，得先介绍下其创始人尹志尧，他的经历充满了传奇色彩。

尹志尧是改革开放后，最早的几批赴美留学才子。1980年，来到加州大学洛杉矶分校攻读博士学位，仅用三年半时间，就拿到物理化学博士学位，妥妥的学霸。

毕业后，尹志尧先是在英特尔技术发展部门，做电浆蚀刻工作；1986年进入科林研发，开发了一系列成功的等离子刻蚀机，使得陷入困境的科林一举击败美国应用材料公司，跃升为全球最大的等离子刻蚀设备制造商，占领了全球 40% 以上的刻蚀设备市场。

学霸一出手，便知有没有；在科林的攻势下，应用材料坐不住了，来了个骚操作，把尹志尧给挖了过来。

在应用材料公司，为了避免知识产权风险，尹志尧从头再来，用不同于科林时期开发的技术，研发出性能更好的金属刻蚀、硅刻蚀和介质刻蚀设备，应用材料再次击败科林，重返行业龙头地位。

那些同意放走尹志尧的科林高层，估计肠子都悔青了！

尹志尧在应用材料任职 13 年，曾担任公司副总裁、亚洲首席技术官等职位。先后获得 60 多项专利，他开发或参与开发的产品，现在在这个领域大概占了全世界的 50％。

可以说，全世界也找不出几个，比尹志尧更懂刻蚀技术的人。

另外，尹志尧还帮助成立了硅谷中国工程师协会，并担任头两任主席，被誉为「硅谷最有成就的华人之一」。

正常来说，在硅谷有钱、有权、有地位的尹志尧，会在应用材料公司工作到退休，然后担任个荣誉顾问之类的职位，继续领着高薪......

可让人没想到的是，他在自己 60 岁那年（2004年），毅然放弃百万美元年薪，带领 15 名硅谷资深华裔技术工程师和管理人员回国，创立了中微半导体。

 

要知道，那时国内芯片领域可谓「一穷二白」，业内有这么一句话：除了水和空气，其他做芯片的东西都需要进口。

更别提，前一年还爆发了臭名昭著的「汉芯事件」，使得当时国内对芯片业充满了不信任，网上盛传「汉芯龙芯中国芯，芯芯造假」，很多国家芯片项目扶持资金也被叫停。

那他们回国创业图什么啊？

不图什么，只是为了报效祖国。尹志尧在后来的采访中表示：希望在给外国「做嫁衣」多年之后，为祖国做些事。

因为技术保护的原因，回国前，尹志尧团队清空了电脑中的所有资料，相当于一切从零开始。

之前有提过，刻蚀机是用来在芯片进行微观雕刻，刻出又细又深的接触孔或线条。用尹志尧的话，米粒上刻字，人工能刻 200 个已是极限，而等离子刻蚀机的加工工艺，相当于在米粒上刻 10 亿个字。

所以研制这种设备需要长期知识积累，需要物理、化学、机械、工程技术等 50 多种学科背景的集成，难度不亚于造原子弹。

但尹志尧他们仅用了 3 年时间，就为中国填补了等离子体刻蚀机的空白，并进入国际先进的生产线。

怎么做到的呢？

一方面，与他回国的 15 人，都是在应用材料、科林研发等，有二三十年半导体设备研发制造经验的资深工程师，全是行业领军的人物，知道下一代设备该怎么做。

中微公司经营团队合影

而中微在研发投入上，也是丝毫不手软，近三年累计研发投入，占营收的 32%。华为去年研发投入也才是营收的 14.1%，中微是华为的两倍多，贼恐怖。

同时，他们另辟蹊径，研制出「双台机」。国外都是一次加工一片晶圆，他们能一次加工两片，不仅效率提升了 50%，成本也减少了 35% 以上，性价比极高！

作为在硅谷资深研发人员，尹志尧深知，知识产权是高科技的竞争利器，一旦踩坑，分分钟被其它公司起诉，最后可能要付出巨额赔款，甚至会被禁售。

因此中微自创立起，就有注意去绕开相关专利，这让中微后来三次面对行业巨头的专利侵权诉讼，都由被动转为主动，一直处于不败之地。

就这样，从早期的 65 纳米工艺，中微一步步升级到 45纳米、32纳米、28纳米、22纳米、14纳米、7纳米，目前已达到 5 纳米，处于世界领先水平。

话说，如果以后中微的刻蚀设备，技术大幅领先于其它厂商，到时美国想要断我们粮的时候，可能就要考虑下，自己也会被断粮。

而除了台积电，中微刻蚀设备的用户，还包括联电、意法半导体、博世半导体、中芯国际等等国内外巨头。

 

值得一提的是，除了半导体刻蚀设备，中微还有另一大「杀器」，那就是 MOCVD 设备。

中微的MOCVD设备

MOCVD 设备是生产 LED 外延片中最关键的设备。由于技术含量高，它站在了 LED 行业价值链的顶端，属于专利技术密集型产业。

在我们身边，LED 产品可谓无处不在，像各种灯泡、手机闪光灯、汽车大灯、灯箱广告牌......所以这是一个巨大的市场。

早年，MOCVD 设备行业巨头是美国 Veeco 和德国 Aixtron 两家公司，多年来它们占据了全球 90% 以上的 MOCVD 设备市场。

它们很喜欢利用专利优势，绞杀国产 MOCVD 设备商的发展，导致十几年来，国内 20 多家陆续从事 MOCVD 的企业，目前只剩下中微和中晟两家。

幸好，中微和中晟足够争气。尤其是近两年，用于制造蓝光 LED 的中微 MOCVD 设备，从几乎为零的国内市场占有率，一举实现超过 70% 的市场占有率，打破国外的垄断。

国内企业打破国外垄断后，相关产品的价格疯狂下降是常有的事，最终受益的还是我们国内消费者。

由于中国是全世界最大的 MOCVD 市场，占全球份额超过 60%，所以，中微已经是全球 MOCVD 设备最大的供应商，它的牛逼程度，丝毫不亚于其刻蚀设备。

而这些优质的产品，也为中微赢得了良好的口碑。

在2018年度 VLSI Research「客户满意度」调查中，中微公司位居全球半导体设备公司的第三名，在刻蚀和清洗设备供应商排名中位列第二，在全球薄膜沉积设备供应商排名中荣登榜首。

不过，对于公司取得的成就，尹志尧认为，荣誉不是属于他一个人，而是属于中微所有人的。

中微不是我一个人创立的，当初从美国回到中国的创业团队有 15 个人，如公司资深副总杜志游博士，公司副总倪图强博士，后来加入的全球业务副总朱新萍等人；

加上陆续加入的技术和管理专家 160 多人，有积累的 30 年的设备开发和管理经验，还有多年培养的国内员工 400 多人，中微今日的成就，是所有人的共同努力。

中微的股权架构，也和华为很像。每个员工都有中微的股票或期权，每级差只有 20%，尹志尧自己在公司的股份，只有 1.38%。

突然感觉，领导人的格局，对一家公司的前景起决定性作用。像华为和中微，创始人都愿意将股份分给员工，让全体员工都把自己当公司的主人，团结奋斗，使公司高速发展。

 

记得2016年，任正非在《新闻联播》里说了一段话：

中国现在又冒出来很多企业，其实也跟华为一样，也是专心致志做一件事的，一个人一辈子能做成一件事，已经很不简单了。

中国有 13 亿人民，我们这几个把豆腐磨好，磨成好豆腐，你们那几个企业好好去发豆芽，把豆芽做好，我们 13 亿人每个人做好一件事，拼起来我们就是伟大祖国。

把任总的话套用在芯片领域，海思、紫光展锐、中兴微电子这些 IC 设计企业，负责的是磨豆腐；长电科技、通富微电、华天科技这些封测企业，负责的是将豆腐打包。

中芯国际、华润微电子、上海华虹这些晶圆代工企业，负责的是培育豆芽；中微、中晟、北方华创、江丰科技等设备制造企业，负责的是生产种子。

目前，我们磨豆腐和打包上做得还不错，但上面的种子生产、豆芽培育做得还不好，所以生产出的豆腐还不好吃。

我们需要更多海思、中微半导体这样的，在芯片产业链的某一项，做好做精的企业。这样，最后生产出的豆腐才会好吃，中国的芯片产业才能真正崛起。

如果走到那一步，华为也就不用花费那么大的代价，去准备「备胎」；不用独自承受美国的压力；不用再那么悲壮的说出「多年备胎，一夜转正」了。

而集成电路产业的崛起，往大了说，是代表着中国高科技产业的崛起，代表着「中国梦」的实现。

说完了，“在看”在哪里？

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