1.2亿美元7纳米极紫外线光刻机,工作时像看科幻片一样

百家 作者:智能制造IM 2020-04-07 23:42:20 阅读:674

精彩内容

荷兰阿斯麦(ASML)公司的光刻机作为世界上最贵最精密的仪器,相信大家都有耳闻,它是加工芯片的设备。其最先进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片,据说一套最先进的7纳米EUV光刻机价格高达1.2亿美元,比一架波音737都贵。


文/ 世界先进制造技术论坛

下面是最近ASML公布的极紫外光光刻机内部加工时的镜头,十分震撼:

在这台光刻机中,每秒在真空环境中,从底部容器流出5万滴融化的锡液,一对激光束照射每一滴液体产生等离子体,释放出更短的波长,超高精度的反射镜引导光线....7纳米极紫外线光刻机,分为13个系统,3万个分件,作动时每一分都要精准。


每台光刻机的装配大约需要50000个零件左右,像德国蔡司的光学设备,美国Cymer的光源都是阿斯麦的上游供应商。阿斯麦创立于1984年,是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商,,总部位于荷兰费尔德霍芬


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