43.4亿美元大单砸向EUV,SK海力士与ASML签署五年采购合同

据外媒报道,SK海力士已经与荷兰半导体设备供应商ASML签署了一项为期五年的采购合同,总价值约4.8万亿韩元(43.4亿美元),用于购买EUV光刻机。
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SK海力士通过监管文件表示,该笔交易是为了下一代技术生产的大规模量产而做准备。
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2月初,SK海力士M16工厂举行了竣工仪式,新工厂的建筑面积57000平方米,是SK海力士在全球最大的生产基地,将从今年下半年开始生产1αnm DRAM产品。
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在DRAM技术上,三星已在2020年量产的16Gb LPDDR5中首次导入EUV工艺,基于1Znm制程技术。同时,三星也规划将在2021年大量生产基于第四代10nm级(1α)EUV工艺的16Gb DDR5/LPDDR5。
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SK海力士也紧随其后,将在今年开始投产的M16工厂中导入EUV技术,目前仅美光考虑综合成本压力,仍未计划导入EUV。此前,美光执行副总裁兼事业长 Sumit Sadana表示,美光持续评估 EUV 的技术,也与生产 EUV设备的厂商合作。目前是处在研发的模式之下,因此一直在评估什么时候是最佳的时机。当 EUV 成为最具成本效益、最具经济效益的方式的时候,美光便会将 EUV 技术纳入产品组合里面。
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