这款30年前问世的光刻机至今仍在使用,助力ASML登上光刻机龙头宝座

百家 作者:芯智讯 2021-05-17 22:59:39 阅读:368

5月17日消息,不论是极紫外(EUV)光刻机或是深紫外( DUV)光刻机,都是当前芯片制造不可或缺的关键设备。而在光刻机领域,目前荷兰的艾司摩尔(ASML) 可谓是龙头老大。而在三十多年前,当时还落后竞争对手的ASML,如何能成为今天光刻机市场上的霸主?其关键就在三十年前推出的PAS 5500身上。


ASML 表示,1991 年ASML 首部PAS 5500 机台完成出货之后,直到今天,PAS 5500 仍是ASML 最长青的光刻设备,也是ASML 用途最广泛的产品线之一。当时在PAS 5500 出货之前,ASML在半导体光刻机市场仅位居第三,远落于竞争对首Nikon 和Canon 。然而,PAS 5500 的成功,很快的让ASML 晋升第二大光刻设备商,并为ASML 日后在光刻机录上龙头宝座打下基础。






资料显示,PAS 5500的命名源自1970 年代,是当时飞利浦的研究员开始实验一系列研发的设备,而PAS 5500 的全名“the Philips Automatic Stepper (PAS)”。而为了纪念这部机台的来源,也代表ASML 与飞利浦长期的合作关系,因此取名为PAS 5500。



ASML 强调,问世的30 年后,每台PAS 5500 都在半导体制程中拥有自己的故事。举例来说,已经25 岁的PAS 5500/275,多年来被应用在存储(Memory) 以及RF 模组(Radio Frequency Module) 制程中,但它最近刚被翻修,并重新被销售到VR 技术制程的最前线,展开新的工作。仅管PAS 5500 已经不再被应用在最先进的制程中,但它们具备成本低、体积小、简单以及稳定性,在许多利基(Niche) 应用市场中是首选设备。为了持续支持使用这部机台的客户,当前ASML 已将相关的客户支持服务期限延后至2030 年以后。


编辑:芯智讯-林子  来源:technews

往期精彩文章

“祝融号”成功登陆火星的背后:十二大关键问题详解

官媒定调“台积电南京厂扩产争议”:坚持全球合作和开放创新,鼓励内外资企业加大投资

特斯拉遭遇大麻烦?网信办发布新规:汽车数据未经允许禁止传至境外!

赢了!小米与美国国防部达成和解:将被移出“军事清单”!

IPFS分布式存储市场持续爆发,西部数据创新存储架构如何助力?

英特尔与AMD的x86服务器战争编年史

地平线征程5流片成功:算力128TOPS,支持L4级自动驾驶!

大突破!IBM全球首发2nm制程芯片及制造技术

硬盘挖矿爆火的背后:是真有价值,还是浪费资源?

打造中国版“星链”?中国卫星网络集团正式成立

投资近250亿美元!英特尔开启新一轮建厂计划!目标两年追上台积电

苹果AirTag拆解:内部结构紧凑,做工远超竞品

无知大V秀智商!台积电南京厂扩产28nm将击垮大陆晶圆代工业?无稽之谈!

行业交流、合作请加微信:icsmart01
芯智讯官方交流群:221807116

关注公众号:拾黑(shiheibook)了解更多

[广告]赞助链接:

四季很好,只要有你,文娱排行榜:http://www.yaopaiming.com/
让资讯触达的更精准有趣:https://www.0xu.cn/

图库
关注网络尖刀微信公众号
随时掌握互联网精彩
赞助链接